这是广州粤芯三期项目控制系统架构图，整体分为控制室区域、一期制氮机、后备系统以及爬坡阶段相关设备，采用 Allen‑Bradley 控制设备搭建整套自控网络，使用网线、通讯电缆、光纤完成信号传输，依靠 TCP、PC‑PPI 协议通信。控制室配置 ES、OS 工作站与打印机，通过交换机连接两台主机柜，经防火墙对接 FMCS、ROC/ROM 系统；主机柜通过光纤、通讯线缆，向下对接分布在各个区域的 IO 子站，IO 站点接入空压机、冷干机、热撬冷箱、高低压柜、循环水系统、现场仪表、电能监控、GDS、纯化器等现场设备，实现数据采集与设备控制。左侧独立支路为爬坡阶段的 2000 制氮机集成单元，配套 ES 工作站远程操作。架构层级清晰，实现多站点分布式控制，同时设置防火墙保障网络安全，可统筹监控动力、气体制备、电气监测等各类工艺设备，支撑半导体厂动力系统稳定运行。